超純水起初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有有害物質、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。目前，制備超純水的方法通常采用反滲透，去離子或電去離子(EDI)等工藝。

•化工材料的生產和加工過程所用的溶劑及清洗過程
•超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水
•實驗室和中試車間用超純水
•半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水
•石英、硅材料生產、加工、提純
•高純墨水、傳真打印機中的噴墨、納米墨水
•汽車、家電表面拋光處理
•光電子產品；　
•日用化妝品生產用水
•其他高科技精微產品；

1）采用離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
2）采用反滲透加離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
3）采用反滲透加EDI方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機→EDI系統→拋光混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點。